在掃描電子顯微鏡（SEM）中，掃描速度指的是電子束在樣品表面每個像素上停留的時間，通常通過設置“幀時間”或“像素駐留時間”來調(diào)節(jié)。這個參數(shù)對圖像的質(zhì)量影響很大。

如何設定掃描速度

掃描模式選擇：常見模式有：

快速掃描（Fast Scan）：用于快速預覽樣品。

慢速掃描（Slow Scan）：用于高質(zhì)量圖像采集。

調(diào)節(jié)幀率或駐留時間：

在 SEM 控制界面中，通常可以設定“幀時間”（如 1 秒、10 秒）或“像素駐留時間”（如 10 μs、100 μs）。

有些系統(tǒng)允許設定掃描分辨率（如 512×512、1024×1024），間接影響掃描速度。

平均掃描（Frame Averaging）：

可通過設置多幀平均（如平均 4 幀、8 幀）提升圖像信噪比，但總掃描時間會變長。

當掃描速度較快時，電子束在每個像素上的停留時間很短，信號采集不充分，圖像容易出現(xiàn)噪點，顆粒感重，清晰度不高。這種設置適合用于快速瀏覽樣品結(jié)構(gòu)或在調(diào)整焦距、亮度、對比度時使用。

而當掃描速度較慢時，電子束有更長時間作用于每個像素，從而產(chǎn)生更多的信號，圖像更清晰、對比度更高，細節(jié)也更容易分辨。但缺點是如果樣品不穩(wěn)定，比如容易充電、熱敏感或存在機械漂移，那么圖像可能會出現(xiàn)模糊、拖影或者局部變形。

為了在保證圖像質(zhì)量的同時降低樣品損傷和漂移風險，有時會采用“平均掃描”的方法，即快速掃描多幀后平均疊加成一幅圖像，這樣可以兼顧速度和質(zhì)量。

因此，掃描速度設置應根據(jù)樣品類型、圖像清晰度需求以及系統(tǒng)穩(wěn)定性靈活調(diào)整。如果你在拍攝過程中發(fā)現(xiàn)圖像噪聲大、細節(jié)模糊，建議適當減慢掃描速度或啟用多幀平均功能。反之，若圖像出現(xiàn)拖影或樣品損傷，可適當提高掃描速度或降低電子束電流。