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掃描電鏡工作距離調(diào)節(jié)不當(dāng)會(huì)帶來(lái)哪些問(wèn)題？

掃描電鏡（SEM）中的工作距離（Working Distance，簡(jiǎn)稱 WD）是指電子槍發(fā)出的電子束末端（物鏡極柱）到樣品表面的垂直距離。

掃描電鏡（SEM）在成像過(guò)程中對(duì)樣品表面狀態(tài)非常敏感，樣品表面不平整（如高低起伏、傾斜、凹凸不平）會(huì)對(duì)圖像質(zhì)量和分析結(jié)果產(chǎn)生多個(gè)方面的負(fù)面影響：

在掃描電鏡（SEM）觀察中，如果圖像出現(xiàn)漂移、跳動(dòng)或位置不穩(wěn)定，可能是由于樣品偏移或不穩(wěn)定造成的。

當(dāng)使用掃描電鏡（SEM）觀察非導(dǎo)電樣品（如生物樣本、陶瓷、高分子材料等）時(shí)，樣品帶電可能導(dǎo)致圖像模糊、偏移、亮度不均或漂移。

判斷掃描電子顯微鏡（SEM）成像是否正常，需要從圖像質(zhì)量、設(shè)備狀態(tài)、樣品制備等多個(gè)維度進(jìn)行綜合判斷。

掃描電鏡（SEM）樣品臺(tái)通?？梢哉{(diào)節(jié)角度，這是樣品臺(tái)設(shè)計(jì)中的一個(gè)重要功能，具體包括傾斜（tilt）和旋轉(zhuǎn)（rotate）兩個(gè)方向的調(diào)節(jié)。

掃描電鏡（SEM）圖像突然變暗可能由多種因素引起，需從電子束系統(tǒng)、信號(hào)檢測(cè)、樣品狀態(tài)及環(huán)境條件等方面逐步排查。

掃描電鏡（SEM）圖像模糊通常是由于聚焦不準(zhǔn)或像散（Astigmatism）未校正所致。