PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個三維壓電驅動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣，可在三維納米位移臺的驅動下，達到超過5 mm的準確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測量區(qū)域準確對準力探針。

力探針同樣由壓電驅動，在軸向達到100 um的伸縮長度，位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷，可測拉力和壓力。并有不同的大量程的力傳感器可選配，達到很好的測量效果。通過搭配電學、光學、加熱等模塊，該產品還可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

PicoFemto NI-100 SEM納米力測量系統(tǒng)基本技術參數(shù)表