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掃描電鏡成像過程中常見的偽影有哪些？

掃描電鏡（SEM）成像過程中出現(xiàn)的偽影（artifact）是影響圖像質量和判讀準確性的重要問題。

在掃描電子顯微鏡（SEM）中，掃描速度指的是電子束在樣品表面每個像素上停留的時間，通常通過設置“幀時間”或“像素駐留時間”來調節(jié)。

掃描電鏡（SEM）中的“電荷積聚”（Charging）現(xiàn)象是指非導電樣品在電子束照射下無法及時釋放電荷，導致電子在樣品表面積累。

要保存高質量的掃描電鏡（SEM）圖片，需要從拍攝參數(shù)、文件格式、后期處理和存儲管理等方面進行系統(tǒng)優(yōu)化。

掃描電鏡（SEM）中樣品表面放電（充電效應）會嚴重干擾成像，表現(xiàn)為亮斑、圖像扭曲或閃爍。

在掃描電鏡（SEM）中獲取樣品成分信息，主要通過能譜儀（EDS）和背散射電子（BSE）成像實現(xiàn)。

掃描電鏡（SEM）能夠觀察多種類型的樣品，但其制備要求和成像效果因樣品性質（導電性、耐電子束能力、含水量等）而異。

當掃描電鏡（SEM）開機后電子束無法對中時，可按以下步驟系統(tǒng)排查和調整：